淺述小型甩帶機的開關機操作

　一、小型甩帶機的開機
　　1.開總電源：將對面墻壁上左邊的電源閘刀向上撥至“on”；
　　2.開冷卻水：將設備后水管總開關扭至與水管平行，并將兩個水閥逆時針旋轉45°；
　　3.開機械泵：按下機械泵開機電源按鈕，等待2分鐘，待系統內空氣抽凈；
　　4.開擴散泵：按下擴散泵開機電源按鈕，等待50分鐘，待擴散泵預熱*；
　　5.開銅輥電機：按下電機“調速”電源按鈕，并按變頻器上的“run”一次，運行變頻器；
　　注意：預熱時務必確保機械泵和擴散泵閥門處于關閉狀態。
　　6.小型甩帶機開腔門：將腔體右側的氬氣充氣閥順時針旋轉90°，給腔體充氬氣使氣壓表指針指向“0”并關上閥門，然后利用扳手松開螺絲并將腔門打開。
　　二、小型甩帶機的關機
　　1.清理內腔：
　　①順時針旋轉變頻器上的變頻旋鈕至銅輥轉速為5m/s；
　　②用沾有丙酮的紙巾擦拭銅輥外徑表面；
　　③用金相砂紙輕輕擦拭外沿；
　　④重復第②步；
　　⑤逆時針旋轉變頻器上的變頻旋鈕至銅輥轉速為“0”；
　　⑥用沾有丙酮的紙巾擦拭腔體其他地方。
　　2.關腔門：關上腔門，并用扳手緊固螺絲；
　　3.按變頻器“stop”使變頻器關；
　　4.按起“調速”電源按鈕；
　　5.按起擴散泵電源按鈕；
　　6.拉出機械泵拉桿抽低真空至氣壓表指示為“-0.1”后在推入拉桿；
　　7.等待一小時后關閉機械泵電源按鈕；
　　8.關閉冷卻水閥；
　　9.將總電源閘刀拉下至“off”。